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Brooks Instrument流量控制器技術資料

布魯克斯5850EMH系列高溫熱式質(zhì)量流量控制器可滿足高溫苛刻條件應用需求的高純度流路

現(xiàn)今許多高級電子元器件的加工工藝都需要能夠?qū)Π嘿F的超純氣體和液態(tài)前體進行相當準確并且具有高度可重現(xiàn)性的測定和控制。因此，布魯克斯儀器推出了自家的高溫金屬封裝熱質(zhì)量流量控制器和儀表來滿足上述需求。該產(chǎn)品將穩(wěn)定性和準確性超高的測量傳感器與快速、精準的控制閥以及功能強大的電子元件相結(jié)合共同實現(xiàn)了精準的化學品控制。高完整性（無泄漏）的超高純度全金屬流路可確保過程化學品純度，該流路專為防止外部污染（如濕氣和氧氣）腐蝕過程媒介而設計。

應用

光纖制造 - MCVD

硅材料半導體器件加工工藝

CVD（蒸汽形式的前體輸送）

剝落（水蒸氣）

腐蝕（水蒸氣鈍化）

參數(shù)

流體類型    氣體 , 水汽

流量范圍    滿量程容量3 sccm - 10 slm

精度        SP ±1%

最大壓力    145 psig

溫度        150℃

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